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首頁新聞中心 頻率容差只有±10ppm的6G無線應(yīng)用石英晶振如何生產(chǎn)的呢X1G0036310021

頻率容差只有±10ppm的6G無線應(yīng)用石英晶振如何生產(chǎn)的呢X1G0036310021

來源:http://www.benpai.com.cn 作者:金洛鑫 2023年06月21
高頻基本音晶體需求量很大,尤其是物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)的無線應(yīng)用。我們越來越經(jīng)常地發(fā)現(xiàn)設(shè)備通過無線電相互通信和交換數(shù)據(jù),例如通過藍(lán)牙、ZigBee或ISM。所有這些無線電標(biāo)準(zhǔn)都使用三位數(shù)兆赫或千兆赫范圍內(nèi)的頻帶。為了產(chǎn)生這些射頻頻率,這些器件需要非常精確的參考晶體,其頻率范圍約為20至52兆赫。
無線行業(yè)的要求:超薄和高精度

具有如此高諧振頻率的石英晶振必須是超薄的。石英越厚,其頻率越低,越不適合無線應(yīng)用。

生產(chǎn)足夠薄的石英盤需要一系列的生產(chǎn)步驟。原始晶體塊逐漸被分成更小的單元。最小的單元最終是“坯料”,它被鋸、磨、蝕刻和拋光以產(chǎn)生正確的厚度和特別光滑的表面。例如,為了生產(chǎn)諧振頻率為40兆赫的石英坯件,石英盤的厚度必須僅為41.5微米。

由于其額定頻率為40兆赫,這種石英盤已經(jīng)非常適合無線應(yīng)用;但事情沒那么簡單。除了相當(dāng)高的標(biāo)稱頻率之外,還需要ppm范圍內(nèi)的最小誤差容差(ppm =百萬分之一)。這種高精度是必要的,因為各個通道的無線電頻率彼此非常接近,尤其是在高頻范圍內(nèi)。如果要避免不同無線電頻率的重疊,必須確保基本參考頻率的最低頻率容差。

這對晶體生產(chǎn)提出了挑戰(zhàn),這可以用40兆赫晶體的例子來說明。如上所述,石英盤理想地具有正好41.5微米的標(biāo)稱厚度。由于目標(biāo)誤差容差僅為±10 ppm,實際值可能與理想值相差最大±0.415納米。這不到百萬分之一毫米。

這種亞納米范圍的精度不能僅通過機(jī)械生產(chǎn)步驟來實現(xiàn)。石英制造商對這個問題的反應(yīng)是,根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備的特性,從一開始就將他們的晶體生產(chǎn)得過厚或過薄。然后對晶體進(jìn)行微調(diào),以實現(xiàn)所需的標(biāo)稱頻率。

微調(diào):后蒸發(fā)或離子轟擊

石英生產(chǎn)中的最后加工步驟之一是在石英盤的兩面上施加電極。該電極對于電激勵坯件的振蕩是必要的。同時,這個電極也是下面兩個微調(diào)石英過程的起點。

1)后蒸發(fā)/濺射:

為了能夠使用后蒸發(fā)工藝(也稱為“濺射”),石英盤被制造得稍微太薄,以至于即使在施加電極之后,諧振頻率也不會太高。為了糾正這一點,石英電極上蒸發(fā)了銀。通過這種方式,應(yīng)用了超薄銀層,這增加了石英的質(zhì)量并降低了其頻率。在此過程中,石英盤的頻率被連續(xù)測量。如果達(dá)到所需的標(biāo)稱頻率,后蒸發(fā)立即停止。

2)通過離子轟擊進(jìn)行調(diào)整

制造的石英盤稍微太厚的先決條件意味著即使在施加了電極之后,諧振頻率仍然稍微太低。在這種情況下,通過用足夠高能量的離子進(jìn)行目標(biāo)轟擊來減少電極的質(zhì)量。通過減少質(zhì)量,頻率不斷增加。與濺射一樣,在整個過程中監(jiān)控頻率。一旦達(dá)到期望的標(biāo)稱頻率,該過程就結(jié)束。

適合所有無線應(yīng)用的愛普生晶體

由于這兩個微調(diào)過程,超薄和高精度晶體可以制造各種各樣的無線應(yīng)用,日本愛普生的有源晶振也是以這種方式生產(chǎn)的,這些晶體的工作頻率范圍最低能達(dá)到1MHz,容錯能力僅為±10 ppm,頻率穩(wěn)定性特別高,專門設(shè)計用于無線設(shè)備。

編碼 型號 頻率 尺寸 電源電壓 工作溫度
X1G0036310003 SG-211SDE 26.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310004 SG-211SDE 40.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310005 SG-211SDE 37.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0036310006 SG-211SDE 54.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310007 SG-211SDE 11.289600 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0036310009 SG-211SDE 36.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310011 SG-211SDE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 90 °C
X1G0036310012 SG-211SDE 19.200000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 90 °C
X1G0036310014 SG-211SDE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0036310016 SG-211SDE 36.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0036310017 SG-211SDE 6.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310018 SG-211SDE 36.666670 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310020 SG-211SDE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310021 SG-211SDE 40.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036310022 SG-211SDE 36.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0036310023 SG-211SDE 24.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0036410002 SG-211SEE 40.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410003 SG-211SEE 40.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410004 SG-211SEE 11.289600 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410005 SG-211SEE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410006 SG-211SEE 37.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410008 SG-211SEE 26.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410009 SG-211SEE 26.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410010 SG-211SEE 38.400000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410011 SG-211SEE 49.152000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410013 SG-211SEE 19.200000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410014 SG-211SEE 11.289600 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410015 SG-211SEE 26.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410016 SG-211SEE 38.400000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410017 SG-211SEE 12.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410018 SG-211SEE 13.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410019 SG-211SEE 24.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410020 SG-211SEE 33.333300 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410022 SG-211SEE 38.400000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410023 SG-211SEE 27.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410024 SG-211SEE 38.400000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 90 °C
X1G0036410025 SG-211SEE 26.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410026 SG-211SEE 50.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 90 °C
X1G0036410027 SG-211SEE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 90 °C
X1G0036410028 SG-211SEE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410030 SG-211SEE 37.400000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410031 SG-211SEE 12.288000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410032 SG-211SEE 27.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410033 SG-211SEE 27.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410034 SG-211SEE 24.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410035 SG-211SEE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410036 SG-211SEE 4.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410037 SG-211SEE 15.625000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410038 SG-211SEE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 90 °C
X1G0036410039 SG-211SEE 24.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 90 °C
X1G0036410041 SG-211SEE 50.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410042 SG-211SEE 25.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 90 °C
X1G0036410043 SG-211SEE 19.200000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0036410044 SG-211SEE 37.125000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -40 to 85 °C
X1G0036410045 SG-211SEE 27.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.80 mm 1.600 to 2.200 V -20 to 70 °C
X1G0039310001 SG-210SCH 100.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310004 SG-210SCH 125.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310009 SG-210SCH 100.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -20 to 70 °C
X1G0039310011 SG-210SCH 125.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -20 to 70 °C
X1G0039310013 SG-210SCH 150.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310014 SG-210SCH 156.250000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310018 SG-210SCH 106.250000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310024 SG-210SCH 150.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -20 to 70 °C
X1G0039310032 SG-210SCH 133.333300 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310033 SG-210SCH 160.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310039 SG-210SCH 125.006250 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310042 SG-210SCH 114.285000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310043 SG-210SCH 133.333000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039310044 SG-210SCH 133.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.970 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0039410001 SG-210SDH 100.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0039410002 SG-210SDH 125.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0039410003 SG-210SDH 100.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0039410004 SG-210SDH 133.333000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0039410008 SG-210SDH 125.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0039410010 SG-210SDH 100.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -20 to 70 °C
X1G0039410013 SG-210SDH 156.250000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0039410014 SG-210SDH 125.000000 MHz 2.50 x 2.00 x 0.90 mm 2.250 to 2.750 V -40 to 85 °C
X1G0042610001 SG5032VAN 100.000000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610002 SG5032VAN 125.000000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610003 SG5032VAN 125.006250 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610005 SG5032VAN 200.000000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610006 SG5032VAN 156.250000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610007 SG5032VAN 400.000000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610008 SG5032VAN 106.250000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610009 SG5032VAN 212.500000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610010 SG5032VAN 74.250000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
X1G0042610011 SG5032VAN 148.500000 MHz 5.00 x 3.20 x 1.20 mm 2.250 to 3.630 V -40 to 85 °C
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