隨著經濟的發展和社會生活水平的提高，真空鍍膜技術在越來越多的領域使用，如何監控淀積的膜厚，目前采用石英晶體振蕩監控法和光學膜厚監控法，我司金洛多年來致力于石英晶體振蕩器監控法的核心部件晶振片研究、生產，并總結了一些經驗與同仁共同控討。
1.原理

　　石英晶體法監控膜厚，主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應。當晶振片上鍍了某種膜層，使晶振片的厚度增加，則晶振片的固有頻率會相應的變化。

　　顯然晶體的基頻越高,控制的靈敏度也越高,但基頻過高時,晶體片會做得很薄,很薄的晶體片易碎,一般選用AT切型頻率5～10MHz.采用AT切晶體片,其振動頻率對質量的變化極其靈敏,但卻不敏感于溫度的變化,具有精度高、靈敏度好等獨特的優勢,非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監控.
2.產品品種

　　現在市場上常用的有兩種頻點,標稱頻率分別為5.000MHz、6.000MHz,這兩種規格我司早已批量生產,規格如下表:

 標稱頻率

根據膜厚控制儀的探頭設計不同，采用不同的電極形狀如：

單錨雙錨全雙錨
3.電極材料

　　晶振片的電極對膜厚監控至關重要,目前市場上提供三種標準電極材料:金、銀和合金.用戶所鍍的材料不同,需選用不同的電極材料產品.

　　金:是最廣泛使用的傳統材料,它具有低接觸電阻,高化學溫定性,易于沉積.適合于

　　鍍低應力膜料,如鍍Al、Au、Ag、Cu等。

　　銀:適合于鍍高應力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。

　　銀鋁合金:適合于鍍介質光學膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

　　為了提高晶振片的穩定性,增加電極膜與石英晶片的附著強度,我司根據經驗總結在鍍電極材料之前,先鍍一層鎘(Cr)效果更好.

　　最近我司又研制出金銀合金電極膜代替鍍金電極膜,驗證結果在使用性能不變的情況下比金電極膜使用壽命更長。

4.使用過程注意事項

　　4.1、新的晶振片使用之前應在分析純中浸泡約1分鐘，然后用塑料鑷子夾取并用無塵紙或潔凈的綢布將分析純擦拭干凈，同時用蘸有酒精的無塵紙或綢布將晶振座擦拭干凈，組裝晶振片之前用吹氣球將晶振片、石英晶振座及探頭的接觸彈簧上可能殘留的灰塵吹掉，任何晶體和夾具之間的顆粒或灰層將影響電子接觸，而且會產生應力點，從而改變晶體振動的模式，晶振片裝好后再一次用吹氣球吹晶振片的表面，去除散落的灰塵。

　　4.2、更換安裝晶振片時用攝子挾住晶振片的邊緣，不要用手指接觸晶振片中心，避免留下油漬，否則會降低晶振片的振動能力。

　　4.3、晶振座經過多次鍍膜后其表面會沉積較厚的膜,如果不將其除去,由于離子轟擊產生的反濺射會影響晶振片的測試精度.可以先用噴砂或用打砂紙方法將膜層除去,之后用酒精浸泡5分鐘左右,用超聲波超聲清洗一下,效果會更好,最后再將其放入110℃烤箱中烘烤15分鐘,即可使用。

　　4.4、在淀積過程中，基頻頻率最大下降量允許2～3%，約幾百KHz。若下降太多，振蕩器不能穩定工作，產生跳頻現象，如果此時繼續淀積膜層，就會出現停振。故晶振片上膜層鍍到一定厚度以后，就應該更換新的晶振片。

　　4.5、蒸發速率出現明顯異常時必須更換晶振片。

　　4.6、晶振片的表面明顯出現膜脫落或起皮的現象也需更換。

　　4.7、保持足夠的冷卻水使晶振頭溫度在20～50度范圍效果更佳。
5.晶振片的再利用

　　5.1、銀或銀鋁合金溶于各種酸，不適合再處理利用，必需徹底除去晶振片上的膜層和電極，重新寄回我司鍍上電極。

　　5.2、金不溶于硫酸，用戶可以自已進行處理，去掉晶振片上膜層，清洗干凈再利用，但重復利用次數不易太多，否則質量穩定性降低影響使用。